等离子体发射光谱仪（ICP-OES）

溅射靶材的纯度或杂质含量对靶材产品的质量和后期应用有至关重要的影响。基于公司对高纯金属靶材的开发以及现有产品的质量控制，公司配备有德国进口等离子体发射光谱仪。设备型号为SPECTRO BLUE，是德国斯派克分析仪器公司最新推出的一款结构紧凑、光谱范围通用的ICP-OES光谱仪。设备采用750mm焦距的帕邢-龙格光学系统与15个线性CCD阵列检测器，使其具有极高的光学分辨率和敏感度，极大提高实验室承担分析任务的能力。