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掺铝氧化锌(AZO)旋转靶材
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掺铝氧化锌(AZO)旋转靶材

Aluminum doped zinc oxide rotary target
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详细介绍

掺铝氧化锌(AZO)旋转靶材

Aluminum doped zinc oxide rotary target

 

参数

Parameters

数值

Values

主要成分

Composition (s)

ZnO,Al2O3

尺寸

size

φ133/125 x 4000 (L) mm

纯度

Purity

≥99.95%

密度

Density

≈100%理论密度

theoretical density 5.58g/cm3

粗糙度

Surface roughness

≤1.6 μm

最大尺寸

Max.size

φ133/125 x 4000 (L) mm

 

注* 可根据客户需求定制靶材尺寸
Note: Target dimension can be customized based on customers’ request
未找到相应参数组,请于后台属性模板中添加
暂未实现,敬请期待
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