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掺铝氧化锌（AZO）旋转靶材
Aluminum doped zinc oxide rotary target
关键词：
所属分类：
- 产品描述
-
掺铝氧化锌（AZO）旋转靶材
Aluminum doped zinc oxide rotary target
参数
Parameters
数值
Values
主要成分
Composition (s)
ZnO，Al2O3
尺寸
size
φ133/125 x 4000 (L) mm
纯度
Purity
≥99.95%
密度
Density
≈100%理论密度
theoretical density 5.58g/cm3
粗糙度
Surface roughness
≤1.6 μm
最大尺寸
Max.size
φ133/125 x 4000 (L) mm
注* 可根据客户需求定制靶材尺寸Note: Target dimension can be customized based on customers’ request
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