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详细介绍
掺铝氧化锌（AZO）旋转靶材
Aluminum doped zinc oxide rotary target
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参数 Parameters |
数值 Values |
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主要成分 Composition (s) |
ZnO，Al2O3 |
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尺寸 size |
φ133/125 x 4000 (L) mm |
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纯度 Purity |
≥99.95% |
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密度 Density |
≈100%理论密度 theoretical density 5.58g/cm3 |
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粗糙度 Surface roughness |
≤1.6 μm |
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最大尺寸 Max.size |
φ133/125 x 4000 (L) mm |
注* 可根据客户需求定制靶材尺寸
Note: Target dimension can be customized based on customers’ request
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