电阻仪

磁控溅射镀膜对溅射靶材的电阻率有着极高的要求。电阻率为靶材产品质量控制的重要参数之一。实验室配有一台四探针。根据不同材料特性需要，实验室配有多种探头。高耐磨碳化钨探针探头，以测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻；球形镀金铜合金探针探头，可测柔性材料导电薄膜、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜（ITO膜）或纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻。