浏览量：
详细介绍
晶体硅（Si）旋转靶材
Crystalline silicon rotary target
|
参数 Parameters |
数值 Values |
|
主要成分 Composition (s) |
Si |
|
展品尺寸 Exhibits size |
φ153 x 1500 (L) mm |
|
纯度 Purity |
≥99.999% |
|
密度 Density |
≈100%理论密度 theoretical density 2.33g/cm3 |
|
含氧量 Oxygen content |
<100 ppm |
|
最大尺寸 Max.size |
φ159/155 x 1500 (L) mm(单节整管) |
注* 可根据客户需求定制靶材尺寸
Note: Target dimension can be customized based on customers’ request
晶体硅（Si）靶材邦定
|
参数 Parameters |
数值 Values |
|
邦定率 Bonding ratio |
> 97% |
上一篇
高纯铝（Al）长条靶
高纯铬（Cr）旋转靶
下一篇