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直拉晶体硅（Si）旋转靶
Crystalline silicon rotary target
关键词：
所属分类：
- 产品描述
-
晶体硅（Si）旋转靶材
Crystalline silicon rotary target
参数
Parameters
数值
Values
主要成分
Composition (s)
Si
展品尺寸
Exhibits size
φ153 x 1500 (L) mm
纯度
Purity
≥99.999%
密度
Density
≈100%理论密度
theoretical density 2.33g/cm3
含氧量
Oxygen content
<100 ppm
最大尺寸
Max.size
φ159/155 x 1500 (L) mm(单节整管)
φ159/155 x 4500 (L) mm(多管拼接）注* 可根据客户需求定制靶材尺寸
Note: Target dimension can be customized based on customers’ request晶体硅（Si）靶材邦定参数
Parameters
数值
Values
邦定率
Bonding ratio
> 97%
产品询价
