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真空喷涂硅（Si）旋转靶
High purity silicon rotary target
关键词：
所属分类：
- 产品描述
-
真空喷涂硅（Si）旋转靶材
Silicon rotary target
参数
Parameters
数值
Values
主要成分
Composition (s)
Si
展品尺寸
Exhibits size
φ151/145 x 850 (L) mm
纯度
Purity
≥99.99%
密度
Density
≥95%理论密度
theoretical density 2.33g/cm3
含氧量
Oxygen content
≤3000 ppm
最大尺寸
Max.size
φ151/145 x 4000 (L) mm
注* 可根据客户需求定制靶材尺寸
Note: Target dimension can be customized based on customers’ request
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