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- 产品描述
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硅铝（SiAl）旋转靶材
Silumin rotary target
参数
Parameters
数值
Values
主要成分
Composition (s)
SiAl
尺寸
size
φ159/151 x 850 (L) mm
纯度
Purity
≥99.95%
密度
Density
≥95%理论密度
theoretical density 2.36g/cm3
粗糙度
Surface roughness
≤3.2 μm
最大尺寸
Max.size
φ163/153 x 4600 (L) mm
注* 可根据客户需求定制靶材尺寸Note: Target dimension can be customized based on customers’ request
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