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详细介绍
硅铝（SiAl）旋转靶材
Silumin rotary target
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参数 Parameters |
数值 Values |
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主要成分 Composition (s) |
SiAl |
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尺寸 size |
φ159/151 x 850 (L) mm |
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纯度 Purity |
≥99.95% |
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密度 Density |
≥95%理论密度 theoretical density 2.36g/cm3 |
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粗糙度 Surface roughness |
≤3.2 μm |
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最大尺寸 Max.size |
φ163/153 x 4600 (L) mm |
注* 可根据客户需求定制靶材尺寸
Note: Target dimension can be customized based on customers’ request
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