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详细介绍
高纯铝（Al）长条靶
High purity aluminum planar target
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参数 Parameters |
数值 Values |
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主要成分 Composition (s) |
Al |
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尺寸 size |
2650(L) x 200 (W) mm |
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纯度 Purity |
≥99.999% |
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密度 Density |
≈100% 理论密度 theoretical density 2.7g/cm3 |
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晶粒度 Grain size |
≤200 μm |
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最大尺寸 Max.size |
3120(L) x 230 (W)mm |
注* 可根据客户需求定制靶材尺寸
Note: Target dimension can be customized based on customers’request
高纯铝（Al）长条靶邦定
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参数 Parameters |
数值 Values |
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邦定率 Bonding ratio |
> 99% |
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