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- 产品描述
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氧化锆（ZrOx）旋转靶材
Zirconium oxide rotary target
参数
Parameters
数值
Values
主要成分
Composition (s)
ZrOx
展品尺寸
Exhibits size
φ145 x 850 (L) mm
纯度
Purity
≥99.9%
密度
Density
≥95%理论密度
theoretical density 5.89g/cm3
粗糙度
Surface roughness
≤1.6 μm
最大尺寸
Max.size
φ151/145 x 4600 (L) mm
注* 可根据客户需求定制靶材尺寸Note: Target dimension can be customized based on customers’ request
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