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详细介绍
氧化锆（ZrOx）旋转靶材
Zirconium oxide rotary target
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参数 Parameters |
数值 Values |
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主要成分 Composition (s) |
ZrOx |
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展品尺寸 Exhibits size |
φ145 x 850 (L) mm |
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纯度 Purity |
≥99.9% |
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密度 Density |
≥95%理论密度 theoretical density 5.89g/cm3 |
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粗糙度 Surface roughness |
≤1.6 μm |
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最大尺寸 Max.size |
φ151/145 x 4600 (L) mm |
注* 可根据客户需求定制靶材尺寸
Note: Target dimension can be customized based on customers’ request
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氧化铌（NbOx）旋转靶
无
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