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详细介绍
氧化铌(NbOx)旋转靶材
Niobium oxide rotary target
参数 Parameters |
数值 Values |
主要成分 Composition (s) |
NbOx |
尺寸 size |
φ151/145 x 850 (L) mm |
纯度 Purity |
≥99.9% |
密度 Density |
≥98% 理论密度 theoretical density 4.57g/cm3 |
粗糙度 Surface roughness |
≤3.2 μm |
最大尺寸 Max.size |
φ153/145 x 4600 (L) mm |
注* 可根据客户需求定制靶材尺寸
Note: Target dimension can be customized based on customers’ request
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