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- 产品描述
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ITO旋转靶材
ITO rotary target
参数
Parameters
数值
Values
主要成分
Composition (s)
In2O5, SnO2
尺寸
size
φ153 x 3191 (L) mm
纯度
Purity
≥99.99%
密度
Density
99.7% 理论密度
theoretical density 7.15g/cm3
粗糙度
Surface roughness
≤1.6 μm
最大尺寸
Max.size
φ159/155 x 4000 (L) mm
注* 可根据客户需求定制靶材尺寸Note: Target dimension can be customized based on customers’ requestITO靶材邦定参数
Parameters
数值
Values
邦定率
Bonding ratio
> 98%
产品询价
