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ITO旋转靶

ITO rotary target
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详细介绍

ITO旋转靶材

ITO rotary target


参数

Parameters

数值

Values

主要成分

Composition (s)

In2O5, SnO2

尺寸

size

φ153 x 3191 (L) mm

纯度

Purity

≥99.99%

密度

Density

99.7% 理论密度

theoretical density 7.15g/cm3

粗糙度

Surface roughness

≤1.6 μm

最大尺寸

Max.size

φ159/155 x 4000 (L) mm

 
注* 可根据客户需求定制靶材尺寸
Note: Target dimension can be customized based on customers’ request
 
 
ITO靶材邦定

参数

Parameters

数值

 Values

邦定率

Bonding ratio

> 98%

 

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