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高纯铜（Cu）旋转靶

High purity copper rotary target

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高纯铜（Cu）旋转靶

High purity copper rotary target

参数Prameters	数值Values
主要成分 Composition (s)	Cu
尺寸 size	φ155/135 x 3358 (L) mm
纯度 Purity	≥99.97%
密度 Density	≈100% 理论密度 theoretical density 8.9g/cm³
晶粒度 Grain size	≤200 μm
最大尺寸 Max.size	φ155/135 x 4000 (L) mm

注* 可根据客户需求定制靶材尺寸

Note: Target dimension can be customized based on customers’ request

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